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                产品展示

                PRODUCTS

                服务中心

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                0371-6320 2805
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                值班经理: 蔡永国: 181 0371 5723
                徐晓冬: 188 3821 1523
                Email : nbd@nbdkj.com
                公司地址: 郑州·新郑·新村镇郑州理工职业学院内
                    CVD系统 当前位置:网站首页 > 产品展示

                RTP快速退火炉

                发布时间:2017-11-16  浏览次数:2457

                产品型号:NBD-HR1200-110IT-170
                商品简述:NBD HR系列高温快速热处Ψ 理退火炉简称RTP。 
                该产品※采用成熟的制造工艺,RTP快速退火炉造型新颖结构合理; 
                目前已被各种试样实验多次验证,RTP快速退火炉并已广泛用于半导体器件研发及生产等领域; 


                该系统主要用于: 
                1.可满足离子注入后的快ξ 速退火; 
                2.也可用于欧◆姆接触快速合金; 
                3.还可用于硅◎化物合金退火,RTP快速退火炉氧化物◇生长; 
                4.以及︾铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。 
                该设备是国家专利保护产品,专利号:CN201310005931.6


                    快速热处理退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),RTP快速退火炉在成熟的生产◤制造工艺的基础上,自主研发了该款产品▅,拥有发明专利。RTP快速退火炉该设备不但拥有较快的∞升温速率500℃/S,而且在烧←结工艺运行完结,直接将试样在高温区取出。实现物理状态下的较快降【温。我们的工程『师们巧妙地利用了冷壁工艺,RTP快速退火炉在绿色节能环保的基础上实现了试样的快速升降↓温!
                腔体采用︽了不同的进气结构,内管进气,外管出气,RTP快速退火炉使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。测温元件直接和试样接触,保证试样温度的准确◣性。


                RTP快速退■火炉主要技术参数

                1

                项 目

                主要技↓术指标

                数据

                2

                规格型号

                NBD-HR1200-110IT-170

                3

                温度控制

                最高ㄨ温度点

                1200℃

                4

                额定温度

                1100℃

                5

                稳定状态№温度范围

                100~1000℃

                6

                温度测量精♂度

                ±0.2℃

                7

                温度控制重复性

                ±1℃

                8

                温度控制精确度

                ±1℃

                9

                温场均匀ぷ性

                ±2℃

                10

                温度状态〗工艺时间(S)

                2~100(100~1000℃)

                11

                最快升温速⌒率

                500℃/S

                12

                降温速率(℃/S)

                1~200(通氮气,速率更快)

                13

                温度控制模式

                智能@ 模糊全闭环控制

                14

                软件功能

                操控系统

                NBD-101智能系统

                15

                用户界面

                中英文互换

                16

                工艺菜单编辑

                触屏式图⊙像操作界面

                17

                扩充端口

                可扩充真空测□控和FFC供气

                18

                看门狗

                系统进入死循环时关闭主控制器

                19

                热电偶校准状〇态检测

                软件校准,方便准确,软件分析传感器状态是否正常

                20

                超高温→状态检测

                软件检测出温度信息出现高温异常时,切断主回路

                21


                触摸屏尺寸▲

                7"LCD

                22

                物理指标

                最大功率

                15kw

                23

                额定电压

                AC380~400V,50Hz(60Hz定制)

                24

                传感器类型『

                S型单铂铑

                25

                反应腔室内径尺寸◥

                Φ100X200mm

                26

                式样有效空间

                3.5"

                27

                真空度

                4.3×10-3Pa(外配分▓子泵)

                28

                抽气端口尺寸

                KF16(或Φ8mm宝塔嘴)

                29

                供气口尺寸

                Φ6.35mm双卡套

                30

                冷却方式

                自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气:2psi (0.14kg/cm2) – 7psi(0.5kg/cm2) 

                31

                外形净尺寸(mm)

                长920×深500×高560

                32

                重量

                净重65kg