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                Email : nbd@nbdkj.com
                公司地址: 郑州·新郑·新村镇郑州理工∮职业学院内
                    快速退火炉 当前位置:网站首页 > 产品展示

                RTP快速退火炉

                发布时间:2017-11-15  浏览次数:2244

                产品型号:RTP快速退火炉NBD-HR1200-110IT-170
                商品简述RTP快速退火炉NBD HR系列高温快速热处理退火炉简※称RTP。 

                商品主要☆用于: 
                1.可满足离子注入后的快速退火; 
                2.也可用于〖欧姆接触快速合金; 
                3.还可用于硅化物合金退火,氧化物生长; 
                4.以及铜铟镓硒光伏应用中的硒』沉积等快速热处理工艺场合。 
                该设备是国家专利保护【产品,专利号:CN201310005931.6
                     快速热处理」退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),在原有生产制造工艺的基础上不断改进,现已自▆主研发了该款产品,并拥ㄨ有发明专利。不但拥有非常快的升温速率500℃/S,而且在烧结工艺运行№完结,直接将试样在高温区取出。退火炉实现物理状态下的快速降温。我们的工程师们巧妙地利用了冷壁工艺,退卐火炉在绿色节能环保的基础上实现了试样的快速升降温!
                     设备采用了内管进气、外管出气的气▼路结构,使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。退火炉是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的常用设备。测温元件直接和试样接触,保证试样温度的准确性。


                RTP快速退火炉主要技术参数

                型  号

                最高温度

                最快升温速率(℃/S)

                管径(内)(mm)

                处理晶片尺寸(in)

                恒温区 (mm)

                外形尺寸

                功率(AC380V)

                 

                 

                 

                 

                 

                 

                 

                NBD-HR1200-110IT-170

                1100℃

                500

                103

                0~3.5

                120

                800

                540

                750


                15kw


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